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                      TFT-LCD制造工藝流程

                                                                                                                                                                                                                                  文/三元晶

                      薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)通常采用兩個加工過程并行進行加工成成品,如圖1所示。其基本工藝如下:

                                              圖1. TFT-LCD 工藝流程圖


                      ● 通過前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過程形成精確排列的彩色濾光層。
                      ● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶(TFT)陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個像素一般對應三個薄膜晶體管液晶(TFT),每個像素控制一個共同構成一個像素的“色點”。薄膜形成工藝采用與半導體制造技術相類似的CVD、Etch及PVD等工藝技術。此類工藝步驟應反復數次,連續膜層方可形成一個功能元件(圖2)。

                                    圖2. TFT-LCD的典型陣列工藝步驟


                      ● 兩塊基板合二為一,中間注入液晶材料。
                      ● 最后組裝背光及驅動電子元件,制造出TFT-LCD 模塊。


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